千百级微纳工艺平台
微纳工艺平台作为南湖脑机交叉研究院关键基础平台之一，已建成总面积超400平方米的百级/千级双标准洁净空间，累计投入超3000万元，成功引进包括光刻机（Mask Aligner）、激光直写系统（Laser Direct Writing）、电子束刻蚀机（E-beam Lithography）、磁控溅射仪（Magnetron Sputtering）、等离子气相沉积（PECVD）及反应离子刻蚀机（RE）等近30台国内外先进设备，并通过严格的安装调试与人员系统化培训，实现全平台高效安全运行。同时通过完成电力增容、特气管道改造、冷水机组升级等关键基建适配，显著优化设备运行环境。
平台凭借一流的微纳加工设备和灵活高效的研发生态，现已逐步形成微纳米加工、制造和检测于一体的工艺研发能力，支撑脑电极从概念设计到原型制造的快速迭代。
未来平台将逐步构建成熟的标准化流程和规模化制备工艺：一方面深化规模化制备工艺（如批量神经电极制造），推动原型器件向商业产品转化；另一方面完善“一站式”服务生态，整合微纳加工、制造封装与性能测试功能，力争成为浙江省脑机接口技术产业化的核心引擎。
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